시뮬레이션 기반의 플라즈마 장비 해석을 활용하면 실제 설비와 설계 과정에서 소요될 수 있는 시간과 비용을 줄일 수 있습니다.
본 웨비나에서는 다쏘시스템의 전자기 솔루션인 CST Studio Suite를 이용한 플라즈마 장비 해석 방법론에 대해 소개해 드리고자 합니다.
반도체 산업에서 정밀한 제조를 위해 플라즈마를 활용한 공정 방식을 많이 사용하고 있습니다.
시뮬레이션 기반의 플라즈마 장비 해석을 통해 플라즈마 장비에 대해 가상의 프로토타입을 설계하고 전자기 시뮬레이션을 통해 전자기장 특성을 파악하고 이온화 현상과 입자들의 움직임을 확인할 수 있습니다.
더불어 가상의 프로토타입 구조를 변경시켜가며 다양한 플라즈마 현상을 확인하고, 이에따라 플라즈마 장비의 성능과 관련된 전자기장의 분포, 이온화된 입자들의 움직임을 개선할 수 있습니다.